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產品詳細
| 測量方向 | ±X ±Y +Z | |
| 重復精度（2σ） | 0.3um以下（帶10mm測針）0.4um以下（帶50mm測針） | |
| 方向性（XY：2D） | ±0.4um以下（帶10mm測針），±0.8um以下（帶50mm測針） | |
| 方向性（XYZ：3D） | ±0.65um以下（帶10mm測針），±1um以下（帶50mm測針） | |
| 測力 | XY | 0.02N（標準/低測力）使用50mm測針 |
| Z | 0.07N（標準/低測力）使用50mm測針 | |
| 超程范圍 | XY | ±14° |
| Z |
+4.5mm(帶0.07N） +3mm(帶0.15N) |
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| 超程測力 | XY |
0.35N(標準測力） 0.1N（低測力） |
| Z |
4N(標準測力） 1N（低測力） |
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| 最大測針長度 | 70mm(標準測力） 30mm(低測力） | |
| 最大測針質量 | 8g(標準測力），3g(低測力） | |
| 測針安裝方法 | M2螺紋 | |
| 單個裝置的質量 | 22g | |
| 耐久性 | 1.000.000次 | |
| 測座 | 必需：PH10M/PH10MQ/MIH/PH1 | |
| 適用的型號 | 手動/CNC三坐標測量機 | |
| 注 | 任何小于Ф1mm的測針應與低測力模塊一起使用 | |
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